[发明专利]振子传感器在审
| 申请号： | 201611153855.3 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN106679708A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 陈建锋;孙鲁男 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/30 | 分类号： | G01D11/30;G01D11/24 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种振子传感器，通过设置两个并联或串联的传感器本体(2)共同电性连接同一条反馈信号线(1)，能够实现当其中一个传感器本体(2)发生故障时，另一传感器本体(2)仍能正常发送出对基板的感测信号，从而能够降低因振子传感器原因造成的基板过刻蚀废弃和返工率，提高产能，延长振子传感器的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 | ||
【主权项】：
一种振子传感器，其特征在于，包括一条反馈信号线(1)、及对应该条反馈信号线(1)设置的两个传感器本体(2)；所述传感器本体(2)包括架子基体(21)、安装在架子基体(21)中间的振子体(22)、安装在振子体(22)顶部的转子(23)、及安装在架子基体(21)底部用于容置反馈信号线(1)的套管(24)；所述振子体(22)内设有磁铁；两个传感器本体(2)的振子体(22)均电性连接所述反馈信号线(1)，当其中一个传感器本体(2)发生故障时，另一传感器本体(2)仍能正常发送出对基板的感测信号。
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