[发明专利]器件布置结构组件和测试方法有效
申请号: | 201611154123.6 | 申请日: | 2016-12-14 |
公开(公告)号: | CN107300623B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 廖俊豪;陈居富;刘醇明;邱智彦 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G01N35/00 | 分类号: | G01N35/00 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明实施例提供了一种组件,包括具有顶部晶圆表面和晶圆圆周的晶圆以及器件布置结构。器件布置结构包括具有周长的第一表面,平面图中周长由晶圆圆周环绕。器件布置结构还包括器件的阵列,器件的阵列的每个器件具有在第一表面上的电接触件。组件具有相对于晶圆在固定位置附于器件布置结构的粘合元件。本发明实施例涉及器件布置结构组件和测试方法。 | ||
搜索关键词: | 器件 布置 结构 组件 测试 方法 | ||
【主权项】:
一种器件布置结构组件,包括:晶圆,具有顶部晶圆表面和晶圆圆周;器件布置结构,包括:具有周长的第一表面,在平面图中所述周长由所述晶圆圆周环绕;和器件的阵列,所述器件的阵列的每个器件在所述第一表面上具有电接触件;以及粘合元件,配置为相对于所述晶圆在固定位置附于所述器件布置结构。
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