[发明专利]一种团簇束流实验装置及纳米团簇的制备方法有效
| 申请号： | 201611154289.8 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN106637114B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 张勤芳;王保林;樊乐乐;朱雷;王珏;孟强强;侯贵华;陆伟华;罗改霞 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | G01N31/10 | 分类号： | G01N31/10;C23C14/35;C23C14/32;B82Y30/00;B82Y35/00;B92Y40/00 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李佳 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种团簇束流实验装置及纳米团簇的制备方法，其主要涉及材料制备设备领域。其中，团簇束流实验装置包括团簇束流产生室、差分输运室、在线催化测量室、团簇质量选择器以及高真空团簇沉积室。通过将团簇束流产生室、差分输运室、在线催化测量室以及团簇质量选择器依次密封连接、将第一沉积室和第二沉积室分别与在线催化测量室和团簇质量选择器密封连接，使得纳米团簇产生、团簇质量选择、团簇沉积、在线催化能够集成一体化，从而使得操作人员能够根据自己实际需要的纳米团簇要求制备自己所需的纳米团簇，并能对团簇的催化性能进行在线测量。采用上述团簇束流实验装置进行纳米团簇的制备，大大降低了制取纳米团簇的时长，同时提高了所得纳米团簇的质量稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米团簇 团簇 团簇束流 质量选择 催化 实验装置 测量室 沉积室 制备 密封连接 输运室 材料制备设备 集成一体化 质量稳定性 催化性能 在线测量 高真空 沉积 时长 制取 | ||
【主权项】：
1.一种团簇束流实验装置，其特征在于，其包括团簇束流产生室、差分输运室、在线催化测量室、团簇质量选择器以及高真空团簇沉积室，所述团簇束流产生室、所述差分输运室、所述在线催化测量室以及所述团簇质量选择器依次密封连接；所述高真空团簇沉积室包括第一沉积室和第二沉积室，所述第一沉积室密封连接于所述在线催化测量室，所述差分输运室、所述在线催化测量室的内腔和所述团簇质量选择器的内腔均连通于所述第一沉积室，所述第二沉积室设置有用于接收团簇束流的进料口，所述团簇质量选择器密封连接于所述进料口，所述在线催化测量室还设置有用于传递样品的超高真空传样装置，所述差分输运室和所述在线催化测量室的内腔均连通于所述超高真空传样装置。/n
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