[发明专利]一种团簇的质量选择装置及团簇粒子的选择方法

摘要

本发明公开了一种团簇的质量选择装置，涉及仪器组装领域，其包括质量选择器和电场施加装置，电场施加装置通过电源线与质量选择器相连接，质量选择器设置有筛选团簇粒子的加速区、飞行区和减速区。采用了多层筛选的方式，从质量选择器入口进入的团簇粒子经过加速区加速后，再经过飞行区的筛选进入减速区，经过减速区筛选出的团簇粒子从质量选择器的通道出口射出。经过多层筛选，精确分离出特定质量的团簇粒子，提高了质量选择的精确性，有利于后续处理操作的运行。

主权项

一种团簇的质量选择装置，其特征在于，包括质量选择器和电场施加装置，所述电场施加装置通过电源线与所述质量选择器相连接，所述质量选择器设置有粒子选择腔，所述粒子选择腔内从上到下依次设置有第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板，所述第一电极板和所述第二电极板之间形成所述质量选择器的加速区，所述第二电极板和所述第三电极板之间形成所述质量选择器的飞行区，所述第三电极板和所述第四电极板之间形成所述质量选择器的减速区；所述第二电极板设置有供团簇粒子由所述加速区进入所述飞行区的第一连通口，所述第三电极板上设置有供团簇粒子由所述飞行区进入所述减速区的第二连通口，所述质量选择器对应所述减速区的侧壁上设置有供筛选出的团簇粒子射出的通道出口；当所述电场施加装置对所述质量选择器施加高频电场时，所述加速区内形成使团簇粒子加速的加速电场，所述减速区内形成使团簇粒子减速的减速电场。