[发明专利]靶材组件的形成方法有效
| 申请号： | 201611155744.6 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108213681B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材组件的形成方法，包括：提供靶材、背板和中间层，所述中间层具有相对的第一端面和第二端面；采用第一电子束焊接工艺焊接所述靶材和中间层的第一端面，所述中间层的材料在第一电子束焊接工艺中的流动性强于靶材的材料在第一电子束焊接工艺中的流动性；采用第二电子束焊接工艺焊接所述背板和中间层的第二端面，所述中间层的材料在第二电子束焊接工艺中的流动性强于背板的材料在第二电子束焊接工艺中的流动性。所述靶材组件的形成方法使得靶材和背板的结合强度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束焊接工艺 中间层 靶材 背板 靶材组件 焊接 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件的形成方法，其特征在于，包括：提供靶材、背板和中间层，所述靶材包括第一核心区和位于第一核心区周围的第一边缘区，所述中间层具有相对的第一端面和第二端面，所述中间层中具有第一开口，第一开口自第一端面至第二端面贯穿中间层，所述中间层在自第一端面到第二端面的方向上的尺寸为20mm至90mm，所述背板具有相对的第三端面和第四端面，所述背板中具有第二开口，第二开口自第三端面至第四端面贯穿背板；采用第一电子束焊接工艺焊接所述靶材的第一边缘区和中间层的第一端面，所述中间层的材料在第一电子束焊接工艺中的流动性强于靶材的材料在第一电子束焊接工艺中的流动性；采用第二电子束焊接工艺焊接所述背板的第三端面和中间层的第二端面，所述中间层的材料在第二电子束焊接工艺中的流动性强于背板的材料在第二电子束焊接工艺中的流动性；第一电子束焊接和第二电子束焊接后，第一开口和第二开口构成的空腔用于容置冷却液。
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