[发明专利]一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器有效
| 申请号： | 201611160348.2 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN106793441B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 贺建武;康琦;段俐;胡良;马隆飞;薛森文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;F03H1/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器，包括：电离室、射频天线、进气系统、屏蔽罩、离子光学系统、电缆夹头；所述电离室为半椭球形,电离室入口连接进气系统，出口连接所述离子光学系统；所述屏蔽罩位于电离室外面；射频天线通上射频电流，用于在所述电离室内产生涡流电场，所述电缆夹头固定在所述屏蔽罩上。本发明具有下列技术效果：1、电离室设计成半椭球形，有效降低离子生成能；2、射频天线绕制在半椭球形电离室外侧，采用LC谐振及调频技术实现阻抗匹配；3、设计前置气体分配器，相较于后置气体分配器，可有效提高气体电离效率及等离子体均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分辨力 微牛级 椭球 射频 离子 推力 | ||
【主权项】：
1.一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器，其特征在于，包括：电离室、射频天线、进气系统、屏蔽罩、离子光学系统、电缆夹头；所述电离室为半椭球形,电离室入口连接进气系统，出口连接所述离子光学系统；所述屏蔽罩位于电离室外面；射频天线通上射频电流，用于在所述电离室内产生涡流电场，所述电缆夹头固定在所述屏蔽罩上；所述射频天线绕制在半椭球形电离室外侧，采用LC谐振及调频技术实现阻抗匹配；所述进气系统包括依次连接的进气钢管、软管、气体分配器；所述气体分配器为前置环形气体分配器。
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