[发明专利]一种用于CZTS薄膜的旋涂装置及制备CZTS电池的方法有效
申请号: | 201611168025.8 | 申请日: | 2016-12-16 |
公开(公告)号: | CN106601873B | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 魏青竹;倪志春;张三洋;吴晨阳;刘晓瑞;陆俊宇;连维飞 | 申请(专利权)人: | 苏州腾晖光伏技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B05D1/40;C23C14/35;C23C14/08 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;李萍 |
地址: | 215542 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种用于CZTS薄膜的旋涂装置,其可以减少CZTS薄膜上微裂纹的形成;本发明还公开了一种基于该旋涂装置制备CZTS电池的方法,制得的CZTS电池的CZTS薄膜微裂纹较少,改善电池性能。用于CZTS薄膜的旋涂装置,包括中空的外壳、可转动地设置在所述外壳内的用于吸合衬底的托盘,其特征在于:所述托盘内嵌设有电阻丝,所述电阻丝的两端分别固定连接有金属接触电极,所述旋涂装置还包括用于供电的主机、两个分别与所述主机的正负极固定相接的金属摩擦片,两个所述金属摩擦片固定设置在所述外壳内,其中一个所述金属摩擦片和其中一个所述金属接触电极保持接触且另一个所述金属摩擦片和另一个所述金属接触电极保持接触以在托盘转动时为所述电阻丝连续供电。 | ||
搜索关键词: | 旋涂装置 金属摩擦片 薄膜 金属接触电极 电阻丝 托盘 电池 微裂纹 制备 主机 电池性能 固定设置 固定相接 连续供电 托盘转动 可转动 正负极 中空的 内嵌 供电 | ||
【主权项】:
1.一种制备CZTS电池的方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、对衬底进行清洗并吹干;S2、在步骤S1处理后的衬底表面沉积背电极;S3、配置铜锌锡硫墨水;S4、将墨水滴于背电极的表面,采用用于CZTS薄膜的旋涂装置将墨水旋涂成膜,在旋涂的同时进行较热,烘干;重复多次,沉积得到CZTS薄膜层;S5、进行硫化处理以改善所述CZTS薄膜层的结晶性;S6、沉积正面电极;其中,所述用于CZTS薄膜的旋涂装置,包括中空的外壳、可转动地设置在所述外壳内的用于吸合衬底的托盘,所述托盘内嵌设有电阻丝,所述电阻丝的两端分别固定连接有金属接触电极,所述旋涂装置还包括用于供电的主机、两个分别与所述主机的正负极固定相接的金属摩擦片,两个所述金属摩擦片固定设置在所述外壳内,其中一个所述金属摩擦片和其中一个所述金属接触电极保持接触且另一个所述金属摩擦片和另一个所述金属接触电极保持接触以在托盘转动时为所述电阻丝连续供电。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的