[发明专利]研磨装置、该研磨装置的控制方法以及记录介质有效
| 申请号： | 201611168391.3 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN106891241B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 山木晓;安田穗积;并木计介;锅谷治;福岛诚;富樫真吾;矶野慎太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种不依赖于工艺种类、研磨条件而能够防止研磨对象物的滑出的研磨装置、该研磨装置的控制方法以及控制程序。该研磨装置使研磨对象物的被研磨面与研磨部件相对地滑动而研磨被研磨面，具有：按压部，通过对研磨对象物的被研磨面的背面进行按压而将被研磨面按压于研磨部件；保持部件，配置于按压部的外侧，按压研磨部件；存储部，存储有与使用关于保持部件的按压力的信息而确定的防止研磨对象物的滑出的条件相关的信息；以及控制部，获取关于研磨对象物的被研磨面与研磨部件之间的摩擦力的信息或者关于保持部件的按压力的信息，使用该获取的关于摩擦力的信息或者该获取的关于保持部件的按压力的信息来进行控制，以符合防止滑出的条件。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 控制 方法 以及 记录 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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