[发明专利]可调转速比的平面研磨装置在审
申请号: | 201611169134.1 | 申请日: | 2016-12-16 |
公开(公告)号: | CN106737129A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 崔涛;张建国;葛成;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/16;B24B53/017 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人: | 赵勍毅 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种可调转速比的平面研磨装置,包括外研磨盘、内研磨盘、外驱动轴、内驱动轴、工件粘板、摇臂和修整环,所述内研磨盘与所述内驱动轴连接,所述外研磨盘与所述内研磨盘同心设置,所述外研磨盘与所述外驱动轴连接,所述工件粘板的下方与所述外研磨盘和所述内研磨盘之间的位置用于放置工件,所述工件粘板放置于所述修整环内,所述修整环与所述摇臂相接触。本发明提供的可调转速比的平面研磨装置能够显著提高加工效率和工件表面质量。 | ||
搜索关键词: | 调转 速比 平面 研磨 装置 | ||
【主权项】:
一种可调转速比的平面研磨装置,包括:外研磨盘、内研磨盘、外驱动轴、内驱动轴、工件粘板、摇臂和修整环,所述内研磨盘与所述内驱动轴连接,所述外研磨盘与所述内研磨盘同心设置,所述外研磨盘与所述外驱动轴连接,所述工件粘板的下方与所述外研磨盘和所述内研磨盘之间的位置用于放置工件,所述工件粘板放置于所述修整环内,所述修整环与所述摇臂相接触。
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