[发明专利]一种压合设备及压合方法

摘要

本发明提供了一种压合设备及压合方法，所述压合设备包括架体和分层设置在架体上的多个压合单元，压合单元包括设置在架体上的平台；设置在平台上的基板载台；设置在平台上的多个支撑杆，支撑杆相对于基板载台升降，并穿过基板载台上对应的开口部，具有第一状态和第二状态，在第一状态，支撑杆的支撑端高于基板载台，以支撑基板，在第二状态，支撑杆的支撑端低于基板载台，以将基板放置于基板载台上；设置于基板载台上方的压合面，压合面与基板载台相对设置，并能够与基板载台之间发生相对升降运动，以压合基板。本发明的压合设备可以同时对多个基板进行压合工艺，减小生产周期，并节约成本。

主权项

一种压合设备，其特征在于，包括架体和分层设置在所述架体上的多个压合单元，每一所述压合单元能够对基板进行压合处理；所述压合单元包括：设置在所述架体上的平台；设置在所述平台上的基板载台，所述基板载台上具有多个开口部；设置在所述平台上的多个支撑杆，所述支撑杆能够相对于所述基板载台升降，并穿过所述基板载台上对应的开口部，而具有第一状态和第二状态，在所述第一状态，所述支撑杆的支撑端高于所述基板载台，以支撑基板，在所述第二状态，所述支撑杆的支撑端低于所述基板载台，以将基板放置于所述基板载台上；用于升降所述基板载台和所述支撑杆中的至少一个，以使得所述支撑杆与所述基板载台之间发生相对升降运动的升降单元；及，设置于所述基板载台上方的压合面，所述压合面与所述基板载台相对设置，并能够与所述基板载台之间发生相对升降运动，以压合基板。