[发明专利]一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法有效
| 申请号： | 201611169770.4 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN106646867B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 卢增雄;齐月静;王宇;苏佳妮;齐威;杨光华;周翊;孟庆宾 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 郎志涛 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(601)和夏克‐哈特曼波前传感器(7)。本发明采用人工神经网络法进行深紫外光学系统与球面反射镜的共焦对准调整，利用共焦对准模型采集样本，通过神经网络训练建立Zernike多项式系数和系统失调量之间的关系实现快速、高精度的共焦对准。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光学系统 球面反射镜 共焦 对准 对准装置 会聚光束 深紫外光 哈特曼波前传感器 人工神经网络法 神经网络训练 共轭成像 关系实现 模型采集 准直物镜 分束板 失调量 系数和 小孔板 物镜 样本 | ||
【主权项】：
1.一种深紫外光学系统共焦对准装置，其特征在于，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、球面反射镜(6)和夏克‑哈特曼波前传感器(7)；其中，小孔板(1)衍射产生球面波经准直物镜(2)后得到平行光束，经分束板(3)反射后被共轭成像物镜聚焦到深紫外光学系统(5)的物面上，经深紫外光学系统后得到深紫外光学系统会聚光束(501)，深紫外光学系统会聚光束(501)经球面反射镜(6)反射后得到球面反射镜会聚光束(601)，球面反射镜会聚光束(601)进入深紫外光学系统(5)和共轭成像物镜(4)后再一次成为平行光束，该平行光束透过分束板(3)后进入夏克‑哈特曼波前传感器(7)，在夏克‑哈特曼波前传感器探测器上形成光斑阵列，通过质心提取、波前重建后得到波像差信息。
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