[发明专利]一种N×N通道的MEMS光开关模块

摘要

本发明为一种N×N通道的MEMS光开关模块，两个相同的MEMS芯片和两个相同的N芯准直器安装于同一基板上高度相同。两个N芯准直器的透镜平面与基板垂直且相互平行。两个MEMS芯片的镜片安装平面垂直于基板相互呈90°，分别与两个N芯准直器的透镜矩阵平面成45°相对。第一N芯准直器的某根光纤导入的输入光到达与之相对的第一MEMS芯片的镜片被反射，到达第二MEMS芯片的某个镜片再被反射，进入第二N芯准直器的某个透镜，并由输出光纤输出。控制两个MEMS芯片的镜片，改变光的行进方向，实现全光路切换。输入输出光纤位于MEMS芯片同一侧，方便使用；通道数多，且可同时进行光路切换，响应快，插损低、稳定性好，结构紧凑，体积小，重量轻。

主权项

一种N×N通道的MEMS光开关模块，包括MEMS芯片和N芯准直器，N芯准直器含有N根光纤的阵列和相配合的N个透镜的阵列，所述N为整数，取值范围为2≤N≤16；其特征在于：两个相同的MEMS芯片和两个相同的N芯准直器安装于同一基板(6)上，处于相同的高度；所述MEMS芯片含有N个微型反射镜片，N个镜片在同一平面上排布为阵列；MEMS芯片N个镜片的阵列与N芯准直器N根光纤的阵列相配合；所述两个N芯准直器互相平行，其一为第一N芯准直器(5)，其N根光纤为输入光纤(51)，配合输入光纤(51)的N个透镜排布为平面矩阵，该平面与基板(6)垂直；另一为第二N芯准直器(4)，其N根光纤为输出光纤(41)，配合输出光纤(41)的N个透镜排布为平面矩阵，该平面与基板(6)垂直，所述两个N芯准直器(5、6)的透镜平面相互平行；所述两个MEMS芯片的镜片安装平面垂直于基板(6)并且相互呈90°夹角，分别为第一MEMS芯片(2)和第二MEMS芯片(3)；第一N芯准直器(5)的透镜矩阵平面与第一MEMS芯片(2)的镜片安装平面相对，二者的交角为45°角，每个透镜与第一MEMS芯片(2)的一个镜片正相对；第二MEMS芯片(3)的镜片安装平面与第二N芯准直器(4的透镜矩阵平面相对，第二N芯准直器(3)接收第二MEMS芯片(3)的镜片反射的光束，第二N芯准直器(4)的透镜矩阵平面与第二MEMS芯片(3)的镜片安装平面间交角为45°。