[发明专利]一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具及其制备方法有效
| 申请号： | 201611173709.7 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN106835064B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;王陶;张文军;李振声 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/27;C23C16/30 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具，包括工具基体，以及设置在所述基体上的多层涂层结构，所述多层涂层结构包括碳化硅/金刚石复合涂层，以及金刚石涂层，自基体表面向上，所述碳化硅/金刚石复合涂层和金刚石涂层依次交替排布形成多层结构，且所述多层涂层结构的顶层为金刚石涂层。本发明提供的多层涂层结构中的每一层中均含有金刚石相的连续生长，增强了各层之间的界面结合强度，能够有效降低涂层的内应力，增强薄膜与基体的粘附性，尤其是有利于抵抗工具在切削加工中产生的高强切应力，还可增强在整个涂层厚度方向的整体断裂韧性。本发明还提供了该具有金刚石涂层的工具的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 金刚石 碳化硅 复合 涂层 工具 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具，其特征在于，包括工具基体，以及设置在所述基体上的多层涂层结构，所述多层涂层结构包括碳化硅/金刚石复合涂层，以及金刚石涂层，自基体表面向上，所述碳化硅/金刚石复合涂层和金刚石涂层依次交替排布形成多层结构，且所述多层涂层结构的顶层为金刚石涂层；其中，所述碳化硅/金刚石复合涂层中，碳化硅晶粒均匀分布在金刚石晶粒中。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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