[发明专利]一种基于硅波导—石墨烯的可调谐波导光栅

摘要

一种基于硅波导—石墨烯的可调谐波导光栅，属于光电子器件技术领域，目的在于改善目前光栅可调谐波长范围窄，响应速度慢，光栅结构不便于集成等问题，使同一结构的波导光栅在不同的电场条件下，对光波具有不同的选择性，改变光栅的反射波长。包括衬底，所述衬底上设置有脊形硅波导，脊形硅波导包括脊区下半部分波导和脊区上半部分矩形波导，脊区下半部分波导覆盖有包层，脊区下半部分波导上从下至上依次设置有第一隔离介质层、第一石墨烯层、第三隔离介质层、第二石墨烯层、第五隔离介质层，第五隔离介质层上设置脊区上半部分矩形波导；第一石墨烯层与第二石墨烯层均为叉指电极结构，叉指电极结构的叉指等间距周期设置。

主权项

一种基于硅波导—石墨烯的可调谐波导光栅，包括衬底(1)，其特征在于，所述衬底上设置有脊形硅波导，脊形硅波导包括脊区下半部分波导(2)和脊区上半部分矩形波导(14)，脊区下半部分波导(2)覆盖有包层(3)，脊区下半部分波导(2)上从下至上依次设置有第一隔离介质层(5)、第一石墨烯层(6)、第三隔离介质层(8)、第二石墨烯层(9)、第五隔离介质层(11)，第五隔离介质层(11)上设置脊区上半部分矩形波导(14)；第一石墨烯层(6)与第二石墨烯层(9)均为叉指电极结构，并通过电极引出，叉指电极结构的叉指等间距周期设置。