[发明专利]一种基于石墨烯FP腔的可调谐激光器在审
| 申请号： | 201611178147.5 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106654852A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陆荣国;刘天良;田朝辉;杨忠华;叶胜威;夏瑞杰;张尚剑;刘永 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/14;H01S5/343 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 | 代理人： | 李龙 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种基于石墨烯FP腔的可调谐激光器，属于光电子器件技术领域，用于解决现有技术中激光器输出波长范围窄，调谐速度慢，器件结构不紧凑和难于集成等问题。包括从下至上依次设置的衬底(1)、缓冲层(2)、下光包层(3)、下势垒层(4)、有源层(5)、上势垒层(8)、上光包层(9)和欧姆接触层(10)，下势垒层(4)上还设置有分别位于有源层(5)两侧的第一光栅(6)和第二光栅(7)，第一光栅(6)和第二光栅(7)采用硅波导—石墨烯的可调谐波导光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 fp 调谐 激光器 | ||
【主权项】：
一种基于石墨烯FP腔的可调谐激光器，其特征在于：包括从下至上依次设置的衬底(1)、缓冲层(2)、下光包层(3)、下势垒层(4)、有源层(5)、上势垒层(8)、上光包层(9)和欧姆接触层(10)，下势垒层(4)上还设置有分别位于有源层(5)两侧的第一光栅(6)和第二光栅(7)；第一光栅(6)和第二光栅(7)采用硅波导—石墨烯的可调谐波导光栅，所述硅波导—石墨烯的可调谐波导光栅,包括光栅衬底(11)，所述光栅衬底(11)上设置有脊形硅波导，脊形硅波导包括脊区下半部分波导(12)和脊区上半部分矩形波导(24)，脊区下半部分波导(12)覆盖有包层(13)，脊区下半部分波导(12)上从下至上依次设置有第一隔离介质层(15)、第一石墨烯层(16)、第三隔离介质层(18)、第二石墨烯层(19)、第五隔离介质层(21)，第五隔离介质层(21)上设置脊区上半部分矩形波导(24)；第一石墨烯层(16)与第二石墨烯层(19)均为叉指电极结构，并通过电极引出，叉指电极结构的叉指(23)等间距周期设置。
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