[发明专利]基板清洗设备在审
| 申请号： | 201611179595.7 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106623189A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陈建锋 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/02;B08B11/04;G02F1/13;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板清洗设备，包括机架、位于所述机架上方的护罩、传送机构、及喷淋机构，所述传送机构包括并列设置的数个导辊，且所述数个导辊中至少有一个为海绵刷导辊，且每一海绵刷导辊的上方相对设有一个第一压制辊，相比于对现有技术，通过在传送机构中增设海绵刷导辊，能够有效提高清洗效果，从而当该基板清洗设备用于基板显影后的终极清洗工序时，能够有效避免光刻胶残留及滚痕的形成，提高产品的清洗良率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种基板清洗设备，其特征在于，包括机架(30)、位于所述机架(30)上方的护罩(40)、传送机构(10)、及喷淋机构(20)；所述护罩(40)用于提供基板清洗空间，所述传送机构(10)用于承载并运送基板(50)，所述喷淋机构(20)用于向基板(50)喷淋清洗液；所述传送机构(10)包括并列设置的数个导辊(105)，且所述数个导辊(105)中至少有一个为海绵刷导辊(101)，其他的为传送导辊(102)；每一海绵刷导辊(101)的上方相对设有一个第一压制辊(103)。
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