[发明专利]一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 201611181765.5 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106785896B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;王永进 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01S5/06 | 分类号： | H01S5/06;H01S5/065;H01S5/10 |
| 代理公司： | 江苏爱信律师事务所 32241 | 代理人： | 刘琦 |
| 地址： | 210003 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻工艺和深硅刻蚀工艺制备悬空的带缺口的环形薄膜微腔，然后在微腔的缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体，在合适的光泵浦条件下，实现氮化物的锁模回音壁激光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化物 回音壁 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氮化物锁模回音壁微激光器，其特征在于，该激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括硅基底、设置在所述硅基底上的硅柱、由所述硅柱支撑的悬空的环形薄膜微腔结构，所述环形薄膜微腔结构由氮化物构成，包括环形的本体(I)、设置在所述本体(I)内部的微腔、设置在本体(I)中将微腔与外部连通的缺口(II)，所述缺口(II)中修饰有金纳米棒，所述缺口(II)中修饰的金纳米棒，在光泵浦条件下，作为半导体饱和吸收体对微腔中的激光进行调制，实现氮化物的锁模回音壁激光。
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