[发明专利]纳米压印设备

摘要

本发明涉及纳米压印技术领域，尤其涉及一种纳米压印设备。其包括压印壳体和工作台，工作台位于所述压印壳体的下方，所述压印壳体中部设有空腔，底部边缘设有回转夹紧气缸，侧面设有进气管道和出气管道，压印壳体的顶部安装有观察窗口，所述观察窗口的下端设有可移动的UV LED面灯，所述压印壳体的内腔中的中部设有密封玻璃，用以隔绝UV LED面灯和观察窗口。本发明采用压力调节器和压力传感器联合恒压调节，通过自动反馈调节，实现压印力的线性调节；控温系统采用PID控制，控温精确，温度稳定性和误差远远小于当前市场上的设备，且采用UV LED面灯，相比点光源和汞灯，曝光时间短、光照分布均匀、产生热量小，工作效率高。

主权项

纳米压印设备，其特征在于，包括压印壳体和工作台，工作台位于所述压印壳体的下方，所述压印壳体中部设有空腔，底部边缘设有回转夹紧气缸，侧面设有进气管道和出气管道，压印壳体的顶部安装有观察窗口，所述观察窗口的下端设有可移动的UV LED面灯，所述压印壳体的内腔中的中部设有密封玻璃，用以隔绝UV LED面灯和观察窗口，形成对压印壳体中部空腔的上端密封。所述工作台包括伺服升降台、工作盘、支撑盘和加热盘，所述加热盘固定在所述工作盘的下端，底面固定在伺服升降台上，支撑盘套接在加热盘的外缘。