[发明专利]单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 201611181916.7 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106785899B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;王永进 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01S5/065 | 分类号： | H01S5/065;H01S5/10 |
| 代理公司： | 江苏爱信律师事务所 32241 | 代理人： | 刘琦 |
| 地址： | 210003 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器及其制备方法，在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻工艺和硅刻蚀工艺制备悬空非对称环形薄膜微腔，该微腔的水平横截面形状是“圆环+锥角+缺口”，在微腔缺口中修饰金纳米棒作为半导体饱和吸收体，在光泵浦条件下，金纳米棒对微腔中的激光进行选模调制，最终实现单方向发射的氮化物锁模回音壁模激光。 | ||
| 搜索关键词： | 方向 发射 氮化物 回音壁 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种单方向发射的氮化物锁模回音壁微激光器，其特征在于，该激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括硅基底、设置在所述硅基底上的硅柱、由所述硅柱支撑的悬空的非对称环形薄膜微腔结构，所述非对称环形薄膜微腔结构由氮化物构成，包括环形的本体(I)、设置在所述本体(I)内部的微腔、设置在本体(I)周向外侧的突出锥角(II)，所述本体(I)上设置有将微腔与外部连通的缺口(III)，所述突出锥角(II)由本体(I)圆周切线、本体(I)圆周上弧线和本体(I)外的弧线围成，所述本体(I)外的弧线与本体(I)圆周相交的夹角为锐角，所述缺口(III)中修饰有金属纳米棒，所述缺口(III)中修饰的金纳米棒，在光泵浦条件下作为半导体饱和吸收体对微腔中的激光进行模式调制，实现单方向发射的氮化物锁模回音壁激光。
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