[发明专利]高成功率的碳纳米管单分子结制备方法

摘要

本发明公开了一种精密拉伸碳纳米管的方法，并且利用碳纳米管为电极高效构建单分子结的方法和工艺流程。本发明是利用微纳加工相关技术和机械可控断裂结技术实现的。通过一系列微纳加工流程制作出稳固的单壁碳纳米管芯片，然后把单壁碳纳米管芯片置于三点弯曲装置上，不断弯曲芯片基板会使得单壁碳纳米管断裂，形成间隙可控的电极对，最后通过在间隙内添加有机分子来形成单壁碳纳米管单分子结。由于该方法可以精确调控间隙大小来匹配各种分子长度，所以可以实现单壁碳纳米管分子结的高产量生产，为实现高性能的分子器件奠定了基础，对于分子电子学的发展有着较高的参考价值。

主权项

一种高成功率的碳纳米管单分子结制备方法，单分子结由弹性钢片、绝缘层、支撑电极对、单壁碳纳米管、金覆盖层、三点弯曲装置组成，其特征在于：弹性钢片可用于放置各种薄膜层，以及利于弯曲；绝缘层用于绝缘上下两层薄膜，以及平整表面；支撑电极对和金覆盖层可用于固定单壁碳纳米管；绝缘层中间部分有一个凹槽，可提供悬空的纳米桥；三点弯曲装置可用于弯曲芯片，精确控制纳米间隙大小。