[发明专利]基于Ge基异质结材料的频率可重构全息天线制备方法

摘要

本发明涉及一种基于Ge基异质结材料的频率可重构全息天线制备方法。该方法包括在GeOI衬底上按照全息天线的结构制作多个横向SPiN二极管，且横向SPiN二极管的P区采用Si材料、i区采用Ge材料及N区采用Si材料以形成Ge基异质SPiN二极管；在多个横向SPiN二极管上依次互连PAD以形成多个SPiN二极管串；制作直流偏置线以连接SPiN二极管串与直流偏置电源；制作同轴馈线以连接第一天线臂及第二天线臂，最终形成全息天线。本发明制备的全息天线体积小、结构简单、易于加工、无复杂馈源结构、频率可快速跳变，且天线关闭时将处于电磁波隐身状态，易于组阵，可用作相控阵天线的基本组成单元。

主权项

一种基于Ge基异质结材料的频率可重构全息天线制备方法，其特征在于，所述全息天线包括GeOI材料、第一天线臂、第二天线臂、同轴馈线、直流偏置线及全息圆环；其中，所述制备方法包括：在所述GeOI衬底上按照所述全息天线的结构制作多个横向SPiN二极管，且所述横向SPiN二极管的P区采用Si材料、i区采用Ge材料及N区采用Si材料以形成Ge基异质SPiN二极管；在多个所述横向SPiN二极管上依次互连PAD以形成多个SPiN二极管串；制作直流偏置线以连接所述SPiN二极管串与直流偏置电源；制作所述同轴馈线以连接所述第一天线臂及所述第二天线臂，最终形成所述全息天线。