[发明专利]一种固态等离子可重构偶极子天线的制备方法在审
| 申请号： | 201611184777.3 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106953155A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 尹晓雪;张亮 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01Q1/22 | 分类号： | H01Q1/22;H01Q1/36;H01Q1/50;H01Q5/321;H01L21/329;H01L29/868 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司61221 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种固态等离子可重构偶极子天线的制备方法，其中，所述可重构偶极子天线包括半导体基片、固态等离子pin二极管天线臂、同轴馈线以及直流偏置线；所述天线制备方法包括选取SOI衬底，形成台面的有源区；有源区四周平坦化处理并分别淀积p型和n型硅形成P区和N区；在所述SOI衬底上形成引线，形成依次首尾相连的固态等离子pin二极管串；所述固态等离子pin二极管串组成所述固态等离子pin二极管天线臂；制作所述直流偏置线和同轴馈线；以形成所述可重构偶极子天线，本发明制备的可重构偶极子天线等离子天线臂长度可调，从而实现天线工作频率的可重构，具有易集成、可隐身、频率可快速跳变的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 等离子 可重构 偶极子 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种固态等离子可重构偶极子天线的制备方法，其特征在于，在半导体基片上制作固态等离子pin二极管，利用固态等离子pin二极管构成偶极子天线，其中，可重构偶极子天线包括半导体基片，固态等离子pin二极管天线臂，同轴馈线和直流偏置线，所述偶极子天线的制备方法包括：选取半导体基片SOI衬底，刻蚀SOI衬底形成台面的有源区；有源区四周平坦化处理并利用原位掺杂分别淀积p型和n型硅形成P区和N区；在所述SOI衬底上形成引线，形成所述固态等离子pin二极管；所述固态等离子pin二极管依次首尾相连构成固态等离子pin二极管串；由三段所述固态等离子pin二极管串组成所述固态等离子pin二极管天线臂；制作所述直流偏置线和同轴馈线；以形成所述可重构偶极子天线。
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