[发明专利]基于异质SiGeSPiN二极管的可重构偶极子天线的制备方法在审
| 申请号： | 201611184780.5 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106816686A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 尹晓雪;张亮 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01Q1/22 | 分类号： | H01Q1/22;H01Q1/36;H01L21/329;H01L29/868 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司61221 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于异质SiGeSPiN二极管的可重构偶极子天线的制备方法，其中，所述可重构偶极子天线包括SiGeOI衬底、第一SPiN二极管天线臂、第二SPiN二极管天线臂、同轴馈线以及直流偏置线；所述天线制备方法包括选取某一晶向的SiGeOI衬底；在所述SiGeOI衬底上制作多个SPIN二极管依次首尾相连构成SPIN二极管串、制作所述SPiN二极管天线臂、制作直流偏置线；在SPIN二极管天线臂上制作同轴馈线；并连接所述第一SPiN二极管天线臂、第二SPiN二极管天线臂以形成所述可重构偶极子天线，本发明制备的可重构偶极子天线，通过金属直流偏置线控制SPiN二极管导通，形成等离子天线臂的长度可调，从而实现天线工作频率的可重构，具有易集成、可隐身、频率可快速跳变的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 sigespin 二极管 可重构 偶极子 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于异质SiGeSPiN二极管的可重构偶极子天线的制备方法，其特征在于，所述可重构偶极子天线包括：SiGeOI衬底、第一SPiN二极管天线臂、第二SPiN二极管天线臂、同轴馈线以及直流偏置线；其中，所述制备方法包括：选取某一晶向的SiGeOI衬底；在所述SiGeOI衬底上制作多个SPiN二极管依次首尾相连构成SPiN二极管串；制作所述第一SPiN二极管天线臂、第二SPiN二极管天线臂；制作直流偏置线以连接所述SPiN二极管串与直流偏置电源；在SPiN二极管天线臂上制作同轴馈线；并连接所述第一SPiN二极管天线臂、第二SPiN二极管天线臂以形成所述可重构偶极子天线。
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