[发明专利]一种液态源供应装置在审
| 申请号： | 201611184805.1 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106545749A | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 连海洲;吴海华;薛元 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/12 | 分类号： | F17D1/12;F17D5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液态源供应装置，包括设于液态源容器瓶口的瓶口阀组，瓶口阀组包括气相接口阀和液相接口阀，气相接口阀通过第一阀体连接推气气源，气相接口阀通过第二阀体连接尾气处理器，第二阀体与尾气处理器之间设有真空发生器装置；液相接口阀通过第三阀体连接吹扫气源，液相接口阀通过第四阀体连接工艺出液口；第二阀体的近瓶口阀组端连接于第三阀体的远瓶口阀组端。吹扫气可将管内的液态源压回容器内，第二阀体连接在液态源容器瓶口的气相接口阀处，容器内上部的气压可以通过气相接口阀进行泄压，大大降低了尾气处理器的工作负荷，使更少的尾气被完全有效处理掉，排放值更低、更安全环保，以避免形成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 供应 装置 | ||
【主权项】：
一种液态源供应装置，包括设于液态源容器瓶口的瓶口阀组，其特征在于，所述瓶口阀组包括气相接口阀和液相接口阀，所述气相接口阀通过第一阀体连接推气气源，所述气相接口阀通过第二阀体连接尾气处理器，所述第二阀体与所述尾气处理器之间设有真空发生器装置；所述液相接口阀通过第三阀体连接吹扫气源，所述液相接口阀通过第四阀体连接工艺出液口；所述第二阀体的近瓶口阀组端连接于所述第三阀体的远瓶口阀组端。
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