[发明专利]曝光机有效
| 申请号： | 201611185878.2 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106483775B | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 龚志平 | 申请（专利权）人： | 广东莱宝智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 刘汉民 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种曝光机，包括机架以及安装于所述机架上的进料机构、出料机构、曝光组件以及控制面板，所述曝光组件包括位置调节机构、吸附平台以及曝光模板固定平台，所述曝光模板固定平台的中部开设有安装方孔，所述吸附平台固定安装于所述安装方孔中，所述吸附平台上开设有若干吸附孔，所述吸附平台于所述安装方孔的四周设置有模板固定治具，所述曝光模板固定平台置于所述位置调节机构之上，所述位置调节机构用于调节所述曝光模板固定平台的水平位置、垂直位置以及旋转角度位置，所述进料机构及出料机构结构相同，对称置于所述曝光组件的后侧及前侧。该曝光机能自动输送菲林，大大提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 模板固定 吸附平台 位置调节机构 安装方孔 曝光组件 曝光 出料机构 进料机构 曝光机 旋转角度位置 控制面板 生产效率 自动输送 吸附孔 菲林 治具 对称 | ||
【主权项】：
一种曝光机，其特征在于：包括机架以及安装于所述机架上的进料机构、出料机构、曝光组件以及控制面板，所述曝光组件包括位置调节机构、吸附平台以及曝光模板固定平台，所述曝光模板固定平台的中部开设有安装方孔，所述吸附平台固定安装于所述安装方孔中，所述吸附平台上开设有若干吸附孔，所述曝光模板固定平台于所述安装方孔的四周设置有模板固定治具，所述曝光模板固定平台置于所述位置调节机构之上，所述位置调节机构用于调节所述曝光模板固定平台的水平位置、垂直位置以及旋转角度位置，所述进料机构及出料机构结构相同，对称置于所述曝光组件的后侧及前侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东莱宝智能装备股份有限公司，未经广东莱宝智能装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611185878.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于非对称金属包覆介质波导的多层亚波长结构刻写装置
- 下一篇：有机光导体
