[发明专利]一种石墨等离子源

摘要

本发明公开了一种石墨等离子源，包括石墨阳极环、阳极盖板；石墨阳极环与阳极盖板相连形成容纳空腔，容纳空腔内设有石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板；石墨阴极设于冷却池的顶部；冷却池为空腔结构，其内底部设有极靴，极靴上置有磁钢和磁钢环，磁钢的N极和S极呈上下分布，与磁钢环的磁极分布方向相反，且磁钢置于磁钢环的中心位置；冷却池盖板和第一绝缘板设于冷却池和阳极盖板间；第二绝缘板设于阳极盖板下方；进水管和出水管贯穿极靴、冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板，且进水管和出水管与冷却池盖板固定连接，进水管和出水管的底端分别连接有第一紧固件和第二紧固件。本发明结构简单，生产成本低。

主权项

一种石墨等离子源，其特征在于：包括石墨阳极环、阳极盖板、石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板、第二绝缘板、进水管、出水管、第一紧固件和第二紧固件；所述石墨阳极环与阳极盖板相连形成顶部开口的容纳空腔，石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板均设于容纳空腔内；所述石墨阴极设于冷却池的顶部；所述冷却池为空腔结构，其内底部设有极靴，极靴上置有磁钢和磁钢环，磁钢的N极和S极呈上下分布，与磁钢环的磁极分布方向相反，且磁钢置于磁钢环的中心位置；所述冷却池盖板和第一绝缘板顺次设于冷却池和阳极盖板之间；所述第二绝缘板设于阳极盖板下方；所述进水管和出水管均依次贯穿冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板，且进水管和出水管与冷却池盖板固定连接，进水管和出水管的顶端位于冷却池内，进水管和出水管的底端分别与第一紧固件和第二紧固件连接，用于实现将冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板紧密贴合。