[发明专利]一种复合管道真空穿透组件

摘要

本发明属于穿透组件，特别涉及一种复合管道真空穿透组件。一种复合管道真空穿透组件，包括主真空室壁穿透件，主真空室壁穿透件为阶梯状陀罗结构，二次包容管道，二次包容管道为中空管状零件，冷屏穿透件，冷屏穿透件为中空环形零件，双层波纹管补偿器，双层波纹管补偿器由直径不同的内外两段套接的波纹管和两端真空接口法兰焊接段组成，端头结构，端头结构为带有底面的双层圆柱体结构，在端头结构的底面上设置有气体进出口。本发明的显著效果是：提高了管道使用寿命和应用范围，解决了传统穿透结构可能对真空室壁和低温冷屏壁两级真空环境的破坏问题。

主权项

1.一种复合管道真空穿透组件，其特征在于：包括主真空室壁穿透件(1)，主真空室壁穿透件(1)为阶梯状陀罗结构，该主真空室壁穿透件(1)的直径与真空室壁开孔相匹配，二次包容管道(2)，在主真空室壁穿透件(1)的后端与二次包容管道(2)固定连接，二次包容管道(2)为中空管状零件，在二次包容管道(2)中设置同样为中空管状零件的送气管，二次包容管道(2)连接两侧真空室壁和低温冷屏壁，对内部送气管道的波纹管起到二次包容和保护作用，冷屏穿透件(3)，二次包容管道(2)的另一端与冷屏穿透件(3)固定连接，冷屏穿透件(3)为中空环形零件，最中心圆环的直径与送气管的尺寸相匹配，外环的内径与二次包容管道(2)的内径相匹配，冷屏穿透件(3)的外径尺寸与低温冷屏壁上的预留通道尺寸相匹配，冷屏穿透件(3)的外环与壁焊接，冷屏穿透件(3)主要起到支撑作用；配合波纹管以及端头结构，将低温冷屏区域的真空边界向右侧延伸双层波纹管补偿器(4)，冷屏穿透件(3)的另一端与双层波纹管补偿器(4)固定连接，双层波纹管补偿器(4)由直径不同的内外两段套接的波纹管和两端真空接口法兰焊接段组成，其中直径较小的波纹管与冷屏穿透件(3)中较小直径的环相匹配，直径较大的波纹管与冷屏穿透件(3)中较大直径的环相匹配，双层波纹管补偿器(4)解决了多级真空隔离、位移补偿和对气体管道保护的作用，端头结构(5)，双层波纹管补偿器(4)的另一端与端头结构(5) 固定连接，端头结构(5)为带有底面的双层圆柱体结构，其中直径较小的圆柱体与双层波纹管补偿器(4)中较小直径的环相匹配，直径较大的圆柱体与双层波纹管补偿器(4)中较大直径的环相匹配，在端头结构(5)的底面上设置有气体进出口，气体进出口的个数与密封流道的个数相一致，送气管道(6)，每个气体进出口均与一个送气管道(6)相连接。