[发明专利]一种增大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201611188587.9 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106582764A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;马立云;杨勇;姚婷婷;金克武;李刚;沈洪雪;王天齐;甘治平;徐根保 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | B01J27/24 | 分类号： | B01J27/24;B01J35/10;B01J37/34 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种增大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，包括如下步骤（1）采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对玻璃基片进行喷淋（2）清洗玻璃基片，后用高压N2吹干；（3）采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面微结构上沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，从而得到具有更大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜。本发明采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对玻璃基片表面进行喷淋处理，获得微结构的玻璃基片，然后在玻璃基片上以磁控溅射技术沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，从而得到具有更大比表面积的薄膜，提高了薄膜光催化的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增大 表面积 掺杂 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种增大比表面积的氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）采用氢氟酸和四甲基氢氧化铵TMAH混合后的复合溶液对玻璃基片进行喷淋，使玻璃基片喷淋的表面具有凹凸不平的微结构；（2）清洗玻璃基片，后用高压N2吹干；（3）采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面微结构上沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，从而得到具有更大比表面积的薄膜。
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