[发明专利]一种金属基高温组合绝缘层及其制备方法有效
| 申请号： | 201611191090.2 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106756848B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 蒋书文;刘豪;赵晓辉;蒋洪川;张万里 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;C23C14/08 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 甘茂 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于高温薄膜材料技术领域，提供一种金属基高温组合绝缘层及其制备方法；用以提高金属基底与薄膜敏感层之间的绝缘性，确保薄膜传感器在高温环境下使用的可靠性、准确性和使用寿命。本发明金属基高温组合绝缘层，包括：从下往上依次设置的金属基底、NiCrAlY合金过渡层、α‑Al2O3层，以及α‑Al2O3层上依次层叠的n个复合绝缘层，其中n≥2；每个复合绝缘层由从下往上设置的非晶态YSZ层和Al2O3层构成。本发明中每个复合绝缘层采用非晶态YSZ层‑Al2O3层复合结构，有效避免高温环境下晶态YSZ作为非晶态YSZ向晶态转变所需的晶核，减缓非晶YSZ在高温环境下向晶态转变，提高了非晶态YSZ的高温稳定性；同时，形成“非晶态YSZ‑Al2O3‑非晶态YSZ”的三明治结构，进一步提高绝缘性能。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶态 金属基 复合绝缘层 组合绝缘层 高温环境 晶态转变 制备 材料技术领域 薄膜传感器 高温稳定性 三明治结构 复合结构 高温薄膜 绝缘性能 使用寿命 依次层叠 依次设置 过渡层 绝缘性 敏感层 非晶 晶核 晶态 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种金属基高温组合绝缘层，包括：从下往上依次设置的金属基底、NiCrAlY合金过渡层、α‑Al2O3层，以及α‑Al2O3层上依次层叠的n个复合绝缘层；其特征在于，其中n≥2，每个复合绝缘层由从下往上设置的非晶态YSZ层和Al2O3层构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611191090.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
