[发明专利]基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台有效
| 申请号： | 201611192773.X | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106594070B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 孔令飞;李超;崔博;江和龄;林宏斌;刘长 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | F16C29/04 | 分类号： | F16C29/04;G12B5/00;G12B9/10 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 成丹 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，包括底座和工作台，底座上依次平行设置有直线导轨、直线电机、用于定位支撑直线电机的支撑板、侧挡板；直线导轨上装配有两个滑块，每个滑块和工作台之间均装有柔性体；侧挡板上设置有光栅编码器定尺，工作台上设置有与光栅编码器定尺相配合的光栅编码器滑尺。本发明基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，具有低成本、高精度和高敏捷度的特点，集成了结构设计优化与智能材料应用的优势，可有效解决目前滚柱或滚珠式超精密工作台的高速精准定位问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 结构 纳米 精密 驱动 工作台 | ||
【主权项】：
1.基于柔性结构的次纳米级精密驱动工作台，其特征在于，包括底座(10)和工作台(1)，底座(10)上依次平行设置有直线导轨(8)、直线电机(9)、用于定位支撑直线电机(9)的支撑板(11)、侧挡板(12)；直线导轨(8)上装配有两个滑块(7)，每个滑块(7)和工作台(1)之间均装有柔性体(4)；所述滑块(7)为滚珠式滑块或者滚柱式滑块；侧挡板(12)上设置有光栅编码器定尺(14)，工作台(1)上设置有与光栅编码器定尺(14)相配合的光栅编码器滑尺(3)；所述柔性体(4)包括通过交叉铰接板(19)连接的U型框架和矩形块，U型框架上开有螺栓孔a(17)，U型框架与所述滑块(7)通过穿过螺栓孔a(17)的螺栓连接，矩形块上开有螺栓孔b(18)，矩形块与所述工作台(1)通过穿过螺栓孔b(18)的螺栓连接，交叉铰接板(19)上装有压电柱(16)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安理工大学，未经西安理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611192773.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：超长导向键结构
- 下一篇：一种无推力盘径轴向一体化永磁偏置磁轴承
