[发明专利]膜片截止阀及其制造方法有效
| 申请号： | 201611195610.7 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108217576B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张华;关一民 | 申请（专利权）人： | 上海傲睿科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;孟金喆 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜片截止阀及其制造方法，属于膜片截止阀技术领域，为解决现有结构体积过大等问题而设计。本发明膜片截止阀包括进液口、进液流道、出液口、可动膜片、基底和气体捕捉与释放结构；进液口和出液口位于同一个进液空腔内；可动膜片、基底、以及气体捕捉与释放结构围拢成封闭的气体空腔，气体空腔内包含与气体捕捉与释放结构相匹配的气体成分。本发明膜片截止阀及其制造方法实现了膜片截止阀的小型化，便于集成设计片上流体控制系统，可以实现全系统集成，适用于MEMS微流体领域；该膜片截止阀的结构可以兼容驱动热泵的结构，从而可以有效地集成到一个系统内部。 | ||
| 搜索关键词： | 膜片 截止阀 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种膜片截止阀，其特征在于，包括进液口(1)、进液流道(2)、出液口(3)、可动膜片(4)、基底(5)和气体捕捉与释放结构(6)；所述进液口(1)和所述出液口(3)位于同一个进液空腔内；所述可动膜片(4)、所述基底(5)、以及所述气体捕捉与释放结构(6)围拢成封闭的气体空腔(7)，所述气体空腔(7)内包含与所述气体捕捉与释放结构(6)相匹配的气体成分。
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