[发明专利]一种FTO薄膜表面选择性一步制备波纹结构的方法有效

专利信息
申请号: 201611196802.X 申请日: 2016-12-22
公开(公告)号: CN106624348B 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 李保家;黄立静;任乃飞;宋娟 申请(专利权)人: 江苏大学
主分类号: B23K26/00 分类号: B23K26/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 212013 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种FTO薄膜表面选择性一步制备波纹结构的方法,包括如下步骤:步骤1、FTO薄膜的预处理:取大小为2.0cm×2.0cm FTO薄膜,依次用去离子水、丙酮和乙醇浸泡样品在超声机中清洗20分钟,再用高纯氮气吹干,最后烘干,备用;步骤2、铜网辅助激光辐照FTO薄膜:将铜网放置于FTO薄膜正上方,再采用激光对铜网表面进行辐照处理,在FTO薄膜上得到波纹结构。本发明实验过程中铜网的引入,可有效在薄膜表面获得结构规则的波纹结构,而无需另外镀制铜层来制备波纹结构。
搜索关键词: 一种 fto 薄膜 表面 选择性 一步 制备 波纹 结构 方法
【主权项】:
1.一种FTO薄膜表面选择性一步制备波纹结构的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、FTO薄膜的预处理:取大小为2.0cm×2.0cm FTO薄膜,依次用去离子水、丙酮和乙醇浸泡样品在超声机中清洗20分钟,再用高纯氮气吹干,最后烘干,备用;步骤2、铜网辅助激光辐照FTO薄膜:将铜网放置于FTO薄膜正上方,再采用激光对铜网表面进行辐照处理,在FTO薄膜上得到波纹结构;所述铜网辅助激光辐照FTO薄膜的步骤如下:步骤A、将铜网放置在FTO薄膜正上方,调整铜网位置,控制铜网与FTO薄膜表面距离为0~1mm,使铜网表面位于激光器发出的激光束的焦点后,对铜网表面进行激光辐照处理;步骤B、使用超短脉冲激光器作为输出激光的仪器,调整超短脉冲激光器的输出,控制激光能量密度为1.5~2.0J/cm2,扫描速度为5~10mm/s;步骤C、根据选用的激光能量确定激光束的扫描线宽,以此来设定激光束的扫描路径,具体为:激光束作单向逐线扫描,通过设定线间距来控制相邻两线相互交叠,扫描线重叠率控制在60~80%;步骤D、根据设定的激光束扫描路径控制激光束运动,使激光束垂直于铜网表面进行扫描;所述铜网与FTO薄膜表面距离为0~1mm;激光辐照的热效应对铜网产生了烧蚀作用,使得铜沉积于FTO薄膜表面,当激光辐照于附有铜的FTO薄膜表面时诱导薄膜产生了波纹结构。
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