[发明专利]基于故障数据灰度图谱的半导体芯片批量测试方法

摘要

本发明公开一种基于故障数据灰度图谱的半导体芯片批量测试方法，包括：1、构造测试数据矩阵X：一批次含有m个芯片，每个芯片都有n个测试参数；该批次的测试数据有共有m×n个变量数据，形成m×n测试数据矩阵X；2、确定质量分类区间：确定芯片的每个测试参数的质量分类及其参数区间；3、根据质量分类将测试数据矩阵X着色，转换为质量等级矩阵Q；4、构造故障数据灰度图谱：将质量等级矩阵Q中每一个元素作为二维平面图像中的一个像素，得到该批次芯片测试数据集的故障数据灰度图谱；5、根据故障数据灰度图谱实现芯片质量等级快速和缺陷参数识别。本发明可以批量分析半导体芯片测试数据，快速实现芯片质量分级分拣，以及芯片缺陷分析。

主权项

1.基于故障数据灰度图谱的半导体芯片批量测试方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、构造测试数据矩阵X：一批次含有m个芯片，每个芯片都有n个测试参数；该批次的测试数据有共有m×n个变量数据，形成m×n测试数据矩阵X；步骤2、确定质量分类区间：确定芯片的每个测试参数的质量分类及其参数区间；步骤3、根据质量分类将测试数据矩阵X着色，转换为质量等级矩阵Q；步骤4、构造故障数据灰度图谱：将质量等级矩阵Q中每一个元素作为二维平面图像中的一个像素，得到该批次芯片测试数据集的故障数据灰度图谱；步骤5、根据故障数据灰度图谱实现芯片质量等级快速分拣和缺陷参数识别；构造m×n维测试数据矩阵X如下：数据矩阵X的每一行代表包含n测试变量一个半导体芯片；数据矩阵X的每一列代表该批次所有芯片的某个测试参数的测试变量；步骤3)中将数据矩阵X与质量区间作比对，测试数据值在一级品质量分类区间的测试数据为0，在二级品质量分类区间的测试数据为1，…,以此类推，将数据矩阵X转换为质量等级矩阵Q；对质量等级矩阵中的数值为0的元素着以白色，其它数值根据数值由小到大，对应进行由浅到深着以不同的灰度值，最大值着为黑色，从而为整个质量等级矩阵Q着色。