[发明专利]一种四自由度微调机构有效
申请号: | 201611205664.7 | 申请日: | 2016-12-23 |
公开(公告)号: | CN108240802B | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 黄斌;李显凌;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;G01M11/00 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 赵勍毅 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供了一种四自由度微调机构,所述底座上设置有线性无油滑板,所述平动板可滑动的安装在所述线性无油滑板上;所述倾斜调节组件包括倾斜调节件和安装在所述动平台和平动板之间的球状体,所述动平台可围绕所述球状体相对于所述平动板旋转,所述倾斜调节件用于驱动所述动平台围绕所述球状体旋转。本发明提供的四自由度微调机构,通过水平调节组件和倾斜调节组件实现了水平移动和动平台在平动板上的旋转,结构紧凑、占用空间小,上下安装面平整,方便在光学系统检测时设备台面上的安装;该四自由度微调机构,操作时调整方便、快捷、准确,从而提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 自由度 微调 机构 | ||
【主权项】:
1.一种四自由度微调机构,其特征在于,包括底座、平动板、动平台、水平调节组件和倾斜调节组件,所述平动板可滑动的设置在底座上,所述水平调节组件固定在底座上,所述倾斜调节组件安装在所述动平台上;所述水平调节组件用于驱动所述平动板在所述底座上滑动;所述水平调节组件为两组,两组所述水平调节组件驱动所述平动板沿相互垂直的水平方向移动;所述动平台可旋转的安装在所述平动板上,所述倾斜调节组件用于驱动所述动平台在所述平动板上旋转;所述底座上设置有线性无油滑板,所述平动板可滑动的安装在所述线性无油滑板上;所述倾斜调节组件包括倾斜调节件和安装在所述动平台和平动板之间的球状体,所述动平台可围绕所述球状体相对于所述平动板旋转,所述倾斜调节件用于驱动所述动平台围绕所述球状体旋转。
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