[发明专利]二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器有效
| 申请号： | 201611206659.8 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106785254B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 章乐;李九生 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | H01P1/20 | 分类号： | H01P1/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器。它包括基底层、二氧化硅层、右端矩形二硫化钼薄膜、条状二硫化钼薄膜、左端矩形二硫化钼薄膜、第一圆形开槽、第二圆形开槽、第三圆形开槽、第四圆形开槽、第五半圆形开槽、第六半圆形开槽、第七圆形开槽、第八圆形开槽、第九圆形开槽、第十圆形开槽、信号输入端、信号输出端，通过调节施加在二硫化钼薄膜层与基底层之间的偏置直流电压，调节二硫化钼薄膜的有效介电常数，实现太赫兹信号的可调滤波功能。本发明具有结构简单，尺寸小，响应快，操控方法灵活易实现等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 二硫化钼 薄膜 条带 结构 可调 赫兹 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器，其特征在于包括基底层（1）、二氧化硅层（2）、右端矩形二硫化钼薄膜（3）、条状二硫化钼薄膜（4）、左端矩形二硫化钼薄膜（5）、第一圆形开槽（6）、第二圆形开槽（7）、第三圆形开槽（8）、第四圆形开槽（9）、第五半圆形开槽（10）、第六半圆形开槽（11）、第七圆形开槽（12）、第八圆形开槽（13）、第九圆形开槽（14）、第十圆形开槽（15）、信号输入端（16）、信号输出端（17）；基底层（1）的上层为二氧化硅层（2），二氧化硅层（2）的上层铺有右端矩形二硫化钼薄膜（3）、条状二硫化钼薄膜（4）、左端矩形二硫化钼薄膜（5），条形二硫化钼薄膜（4）上设有第一圆形开槽（6）、第二圆形开槽（7）、第三圆形开槽（8）、第四圆形开槽（9）、第五半圆形开槽（10）、第六半圆形开槽（11）、第七圆形开槽（12）、第八圆形开槽（13）、第九圆形开槽（14）、第十圆形开槽（15），第一圆形开槽（6）、第二圆形开槽（7）、第三圆形开槽（8）、第四圆形开槽（9）、第五半圆形开槽（10）、第六半圆形开槽（11）、第七圆形开槽（12）、第八圆形开槽（13）、第九圆形开槽（14）、第十圆形开槽（15）在条形二硫化钼薄膜（4）中部自左向右顺序排列，右端矩形二硫化钼薄膜（3）的左端与条形二硫化钼薄膜（4）的右端相连，条形二硫化钼薄膜（4）的左端与左端矩形二硫化钼薄膜（5）的右端相连，右端矩形二硫化钼薄膜（3）的右端与二氧化硅层（2）的右端相连，左端矩形二硫化钼薄膜（5）的左端与二氧化硅层（2）的左端相连，左端矩形二硫化钼薄膜（5）的左端设有信号输入端（16），右端矩形二硫化钼薄膜（3）的右端设有信号输出端（17），太赫兹信号从信号输入端（16）输入，从信号输出端（17）输出；二硫化钼薄膜层与基底分别连接偏置直流电压源的两极，调节外加偏置直流电压源的电压会改变二硫化钼薄膜的有效介电常数。
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