[发明专利]一种p型氧化亚锡薄膜材料以及钾掺杂p型氧化亚锡薄膜材料的制备方法

摘要

本发明提供了一种p型氧化亚锡薄膜材料的制备方法，将乙二醇甲醚、二水合氯化亚锡、乙醇胺混合并搅拌至澄清，移至真空管式炉中抽真空并充入氩气加热，陈化，制得溶胶；在基片上滴加溶胶，旋凃甩胶，制得p型氧化亚锡薄膜试样；将薄膜试样移至真空管式炉中，抽真空并通入氩气，对薄膜试样进行加热干燥，干燥结束后冷却；最后在真空管式炉内形成乙二醇气氛，升温至退火温度保温，退火后冷却，即制得所述p型氧化亚锡薄膜试样。本发明同时还提供了一种钾掺杂p型氧化亚锡薄膜材料的制备方法。本发明的制备方法成本低，制备出的材料性能好，并且制备过程中无需苛刻的真空条件，在p型透明导电氧化物薄膜领域具有重要的研究价值和市场价值。

主权项

1.一种钾掺杂p型氧化亚锡薄膜材料的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将乙二醇甲醚、二水合氯化亚锡、氯化钾、乙醇胺按照9.5～11.5:0.15～0.25:0.005～0.007:0.9～1.1的摩尔比混合并搅拌至澄清，移至真空管式炉中抽真空并充入氩气，在40～80℃条件下加热150～210min，加热完毕后继续在氩气气氛中陈化50～100h，制得溶胶；(2)、将基片固定在匀胶机上，并在基片上滴加1～5滴上述溶胶，先以800～1200转/分钟的速度旋转10～20秒，再以2300～2700转/分钟的速度旋凃甩胶，旋转时间为20～40秒，制得钾掺杂p型氧化亚锡薄膜试样；(3)将薄膜试样移至真空管式炉中，抽真空并通入氩气，然后对薄膜试样进行加热干燥，干燥温度为100～200℃，干燥结束后自然冷却；(4)最后在真空管式炉内形成乙二醇气氛，升温至退火温度600℃以上保温，退火完成后自然冷却，即制得所述钾掺杂p型氧化亚锡薄膜试样。