[发明专利]一种提高声表面波滤波器耐受功率的方法在审
| 申请号： | 201611207269.2 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106603035A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘利鹏;张雅;杨思川;黄歆 | 申请（专利权）人： | 北京中科飞鸿科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司11260 | 代理人： | 郑立明,赵镇勇 |
| 地址： | 100095 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高声表面波滤波器耐受功率的方法，采用42°钽酸锂压电基片，电信号激励的声表面波在此基片表面传播；在压电基片上蒸镀过渡层；在过渡层上蒸镀组合合金膜的电极层。过渡层的形貌与所述电极层的形貌一致，用以提高金属电极的附着力。电极层设计叉指换能器的电极形貌，激励和接收声表面波信号，用以实现滤波功能。解决了在大功率信号长时间通过声表面波滤波器时，因高温或金属迁移而引起的器件失效的问题，该方法制备的声表面波带通滤波器的功率耐受性得到显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 表面波 滤波器 耐受 功率 方法 | ||
【主权项】：
一种提高声表面波滤波器耐受功率的方法，其特征在于，包括：采用42°钽酸锂压电基片，电信号激励的声表面波在此基片表面传播；在所述压电基片上蒸镀过渡层；在所述过渡层上蒸镀组合合金膜的电极层。
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