[发明专利]大口径平面光学元件面形的子孔径拼接检测技术及装置

摘要

本发明提出了一种大口径平面光学元件面形的子孔径拼接检测技术及装置。使用该技术测量光学元件时，基本器件包括多个针孔摄像机，平面光学元件，显示器组成。在显示器上显示一系列正弦编码的周期变化的条纹图，经过被测面反射后被多个针孔相机同时采集。为避免后表面反射光的干扰，使用谱估计算法计算反射光线在显示器平面的坐标，并引入一个光线追迹求参考坐标面为参照的方法来实现参考面和被测面的精确复位，从而扣除测试系统系统误差。多相机得到的斜率数据采用子孔径拼接算法得到被测全孔径上的斜率分布，进而积分得到大口径平面光学元件面形分布。设计的测试装置结构简单，抗震能力好，测试精度高，能为大口径平面光学元件在线检测提供一种新思路。

主权项

大口径平面光学元件面形的子孔径拼接检测技术及装置，其特征在于：包括多个相机组成图像采集系统，显示器作为条纹投影设备的系统装置，其次，各相机拍摄得到变形条纹，条纹变形反映各点的位置坐标由谱估计算法得出，同时在调整被测平面光学元件和参考平面元件时引入参考坐标面，实现被测平面光学元件和参考平面光学元件经调整装置的精确复位，被测平面光学元件数据在扣除参考平面光学元件面形数据后就得到单一口径上的面形，在多相机测量得到各自拍摄的对应子孔径区域上的斜率数据后，再通过子孔径斜率拼接算法得到全孔径上的斜率数据，进而重构得到全孔径面形分布。