[发明专利]一种全印刷氧化锌纳米晶基紫外光电探测器制备方法

摘要

本发明公开了一种全印刷氧化锌纳米晶基紫外光电探测器制备方法，采用全溶液法组装器件，通过喷墨印刷的低成本溶液方式进行，利于工业化推进；其次，采用喷墨打印方式可进行图案化，易于实现复杂结构器件的精确构筑；该全印刷探测器后处理采用UV处理，对衬底无要求，且ZnO薄膜经过UV处理后性能得到大幅提高，与高温热处理相媲美，大大减少了后处理的成本和操作。

主权项

1.一种全印刷氧化锌纳米晶基紫外光电探测器制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）、清洗衬底并对衬底进行预处理；2）、取ZnO量子点分散液，与乙二醇和丙三醇混合均匀，得到量子点墨水，其中，ZnO量子点分散液、乙二醇和丙三醇的体积比为10:9:1；步骤1）中预处理为热处理或UV处理，处理时间为15分钟及以上；3）、利用喷墨打印机将步骤2）得到的量子点墨水在步骤1）的衬底上打印光电探测器的主体，打印次数为1次以上，得到带ZnO薄膜的衬底；步骤3）中将步骤2）得到的量子点墨水注入墨盒中利用喷墨打印机进行打印；步骤3）中量子点墨水的温度为30～50℃；4）、将步骤3）的带ZnO薄膜的衬底进行UV处理，处理时间为15分钟以上，得到带光电探测器主体的衬底；步骤2）中ZnO量子点分散液为量子点乙醇分散液；步骤4）中UV处理替换为热处理，热处理温度为100℃‑450℃；5）、利用喷墨打印机将带Ag纳米颗粒的墨水在步骤4）得到的带光电探测器主体的衬底上打印光电探测器的电极，对打印好的电极进行热处理烧结，得到全印刷氧化锌纳米晶基紫外光电探测器，步骤5）中将带Ag纳米颗粒的墨水注入墨盒中利用喷墨打印机进行打印，步骤5）中热处理温度为100℃～130℃，热处理时间为10分钟及以上。