[发明专利]一种阵列电极式MEMS液体角度陀螺仪有效
| 申请号： | 201611224143.6 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN106840134B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 姜开春;徐瀚洋;赵玉龙 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/00 | 分类号： | G01C19/00;G01C9/18 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种阵列电极式MEMS液体角度陀螺仪，包括通过真空键合工艺进行封装的下基板、中间基板和上基板，下基板中心有环形的第一疏水层，第一疏水层外环有环形金属电极；下基板上部的中间基板包括内圆盘和外圆盘，外圆盘的内壁和内圆盘的外壁有第二疏水层，内圆盘和外圆盘同心，内圆盘和外圆盘之间构成一个环形沟槽，环形沟槽设有水银液滴；中间基板上部的上基板中心有对应与下基板的第一疏水层位置的环形阵列电极，通过液滴在不同倾角下的位置变化而造成的阵列电极信号输出的变化，实现对角度变化的测量，具有体积小，结构简单，功耗小，不受外界环境温度和冲击影响等特点，在惯性导航，姿态测试等航空航天，兵器系统等领域具有潜在的应用前景和价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 电极 mems 液体 角度 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种阵列电极式MEMS液体角度陀螺仪，其特征在于：包括通过真空键合工艺进行封装的下基板(3)、中间基板(2)和上基板(1)，下基板(3)中心有环形的第一疏水层(6‑1)，第一疏水层(6‑1)外环有环形金属电极(7)；下基板(3)上部的中间基板(2)包括内圆盘和外圆盘，外圆盘的内壁和内圆盘的外壁有第二疏水层(6‑2)，内圆盘和外圆盘同心，内圆盘和外圆盘之间构成一个环形沟槽，环形沟槽设有水银液滴(4)；中间基板(2)上部的上基板(1)中心有对应与下基板(3)的第一疏水层(6‑1)位置的环形阵列电极(5)；封装过程中，控制下基板(3)的第一疏水层(6‑1)与上基板(1)的环形阵列电极(5)保持同轴且位置一致；环形沟槽的宽度应当与第一疏水层(6‑1)的宽度相同，且两者同轴并保持位置一致。
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