[发明专利]一种分子牵引型真空动密封结构和超高速真空旋转设备有效
| 申请号： | 201611226615.1 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN106594288B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 吴宜灿;王文;刘超;季翔;宋勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | F16J15/40 | 分类号： | F16J15/40;F16J15/43;F16J15/447 |
| 代理公司： | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙)34125 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分子牵引型真空动密封结构和超高速真空旋转设备，该分子牵引型真空动密封结构用于转子和真空腔室二者之间的动密封，所述转子的密封面和所述真空腔室的密封面二者之间形成密封间隙，所述真空腔室的密封面上设有导引槽，所述导引槽的出口与排气腔连通，其中，高速旋转的所述转子将动量传递给气体分子，所述气体分子在所述导引槽内被牵引至所述排气腔中排出。本发明利用线速度达到分子热运动速度的刚体表面对气体分子的牵引作用，实现超高速旋转条件下对大直径真空室的真空动密封。利用该结构，可以实现大直径转子超高速旋转时，装置两端的气压从105Pa到10‑7Pa的跨越。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 牵引 真空 密封 结构 超高速 旋转 设备 | ||
【主权项】：
一种超高速真空旋转设备，包括在转子(01)和真空腔室(07)二者之间设置的多级密封结构，其特征在于，所述多级密封结构包括一级动密封结构(02)、二级动密封结构(03)、三级动密封结构(04)、四级动密封结构(05)、以及停车密封(09)，其中，所述二级动密封结构(03)、三级动密封结构(04)和四级动密封结构(05)均为分子牵引型真空动密封结构，所述一级动密封结构(02)为自摩擦成型密封结构，包括在开机运行前与转子(01)间采用过盈配合的密封块(21)，经过一段时间的旋转运行，通过所述密封块(21)与转子(01)的密封面相互摩擦，形成微米量级的一级密封间隙(23)，所述分子牵引型真空动密封结构用于转子(01)和真空腔室(07)二者之间的动密封，其中，所述转子(01)的密封面和所述真空腔室(07)的密封面二者之间形成密封间隙，所述真空腔室(07)的密封面上设有导引槽，所述导引槽的出口与排气腔连通，其中，高速旋转的所述转子(01)将动量传递给气体分子，所述气体分子在所述导引槽内被牵引至所述排气腔(33)中。
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