[发明专利]一种氧化锆陶瓷板的加工方法

摘要

本发明涉及一种氧化锆陶瓷板的加工方法。该方法包括多线切割、双面研磨、退火、边缘倒角、2.5D扫光和表面抛光六个步骤，采用该方法加工平板状氧化锆陶瓷，加工效率高、加工成本低、加工成品率高。

主权项

1.一种氧化锆陶瓷板的加工方法，其特征在于该方法包括多线切割、双面研磨、退火、边缘倒角、2.5D扫光和表面抛光六个步骤，首先利用多线切割机将氧化锆陶瓷块切割成一定厚度的氧化锆陶瓷平板，平板状氧化锆陶瓷经双面研磨和退火处理后，利用倒角砂轮将平板状氧化锆陶瓷边缘加工成2.5D形状，接着用扫光机对陶瓷片边缘进行扫光，最后采用金刚石砂轮在自制单抛机上进行抛光;具体过程如下：（1）多线切割：利用多线切割机将氧化锆陶瓷块切割成厚度为0.6~1.0mm的氧化锆陶瓷平板；（2）双面研磨：在双面研磨机上，以碳化硼为磨料，将氧化锆陶瓷平板磨至厚度为0.5~0.6 mm、两表面平行度小于20µm的氧化锆陶瓷薄片；（3）退火：将双面研磨后的氧化锆陶瓷片置于退火炉中，在空气条件下以1~5℃/min的速度将退火炉的温度升至800~1200℃，并在最高温度处恒温4~8h，最后以3~6℃/min的速度将退火炉的温度降至室温；（4）边缘倒角：退火后的氧化锆陶瓷片，利用300~800目倒角成型砂轮进行边缘粗、精加工；（5）2.5D扫光：陶瓷片经边缘倒角后，在上盘为全猪毛/羊毛刷的扫光机上，利用含有D50=0.1~3μm金刚石颗粒的研磨膏进行边缘扫光；（6）表面抛光：用自制的单面抛光机进行氧化锆陶瓷板的精加工，单抛机的上盘为金刚石砂轮，下盘为铸铁或高铝99瓷材质的载物台；将氧化锆陶瓷片以吸附方式固定到载物台上，用6000~20000目金刚石砂轮对氧化锆陶瓷片表面进行精加工。