[发明专利]一种飞秒激光并行加工导光板散射网点的装置和方法

摘要

本发明公开一种飞秒激光并行加工导光板散射网点的装置和方法，包括导光板传输定位装置、导光板加工中心装置、排热除尘装置、飞秒激光全息并行加工系统和控制中心，所述的导光板传输定位装置包括导光板传输机构、吸附装置和光栅定位传感器，所述的导光板加工中心装置包括整机桥架、支撑板和X、Y两个方向的滚珠丝杠进给装置，所述的飞秒激光并行加工系统是用于飞秒激光器射出激光束的分束和传导器件，包括飞秒激光器、光路传输与控制设备、空间光调制器(SLM)和显微镜及监控系统。本发明利用液晶空间光调制器(LCSLM)加载计算机全息图(CGH)能够单次实现多光束并行加工，可以有效提高加工速度和加工效率显著，缩短加工时间，大大节省加工成本。

主权项

1.一种飞秒激光并行加工导光板散射网点的装置，其特征在于，包括导光板、导光板传输定位装置、导光板加工中心装置、排热除尘装置、飞秒激光全息并行加工系统和控制中心，所述的导光板传输定位装置、导光板加工中心装置、排热除尘装置和控制中心设于机架上；所述的导光板传输定位装置包括导光板传输机构、吸附装置和光栅定位传感器，所述的导光板传输机构由传送伺服电机驱动，所述的导光板传输机构上部设有导光板，所述的导光板的两侧设有吸附装置，所述的导光板传输机构的两侧设有光栅定位传感器；所述的机架的一侧设有传送支架，所述的传送支架上设有传送滚珠；所述的导光板加工中心装置包括整机桥架、支撑板和X、Y两个方向的滚珠丝杠进给装置，所述的导光板传输的方向为X方向，垂直于X方向为Y方向；所述的整机桥架设置于导光板传输定位装置的两侧，所述的整机桥架的两端通过支撑板连接，所述的支撑板上设有滚珠丝杠进给装置；所述的排热除尘装置安装于整机桥架的侧面；所述的飞秒激光全息并行加工系统是用于飞秒激光器射出激光束的分束和传导器件，包括飞秒激光器、光路传输与控制设备、空间光调制器和显微镜及监控系统；所述的飞秒激光器用于对导光板散射网点进行加工，所述的飞秒激光器安装于X向滑块或Y向滑块上；所述的导光板传输机构包括主传动轴、从动传动轴和传送带，所述的传送带的一端设有从动传动轴，所述的传送带的另一端设有主传动轴，所述的主传动轴通过主传动联轴器连接传送伺服电机，所述的传送带的两侧设有保护板，所述的保护板的底部设有传输定位装置支撑，所述的光栅定位传感器设于保护板的上侧靠近主传动轴的位置；所述的传送带上间隔一定的距离设置挡板，当挡板挡住光栅定位传感器时说明导光板进给到加工位置；所述的整机桥架的侧面设有除尘散热风口，所述的除尘散热风口位置安装多个由散热除尘风机组成的排热除尘装置；所述的吸附装置包括设于导光板两侧的吸附定位窄条和设于导光板前端一角的前端定位窄条；所述的吸附定位窄条的一端设有用于定位导光板侧面的台阶，所述的前端定位窄条的前端设有用于导光板前侧定位的台阶；所述的吸附定位窄条和前端定位窄条的侧面和上表面设有气孔。