[发明专利]层压体

摘要

本发明提供一种层压体。[课题]提供能够兼顾抗蚀材料对于基板的追随性和蚀刻工艺后的短路不良抑制性的感光性树脂组合物、以及在基底膜上具备感光性树脂组合物的层压体。[解决手段]层压体具备基底膜、以及设置在基底膜上的感光性树脂组成物的感光性层，感光性树脂组合物包含(A)碱溶性高分子、含烯属不饱和键的化合物、以及(C)光聚合引发剂，前述基底膜能够从感光性层剥离，且感光性树脂组合物满足下述数学式(1)所示的关系：WX‑DX≤5μm(1)。{式中，WX和DX如说明书中的定义所示}。

主权项

一种层压体，其特征在于，其具备基底膜、以及设置在所述基底膜上的包含感光性树脂组合物的感光性树脂层，所述感光性树脂组合物包含(A)碱溶性高分子、(B)含烯属不饱和键的化合物、以及(C)光聚合引发剂，所述基底膜能够从所述感光性树脂层剥离，且所述感光性树脂组合物满足下述数学式(1)所示的关系：WX‑DX≤5μm   (1)式(1)中，WX是指：将所述感光性树脂层在液体的存在下层压在具有100μm宽和5μm深的槽的基板上，然后通过曝光和显影而得到的抗蚀图案中，以相对于200μm宽的抗蚀线宽的最小间距宽度的形式规定的分辨率(μm)，且DX是指：在不存在液体下将所述感光性树脂层层压在所述基板上，然后通过曝光和显影而得到的抗蚀图案中，以相对于200μm宽的抗蚀线宽的最小间距宽度的形式规定的分辨率(μm)。