[发明专利]一种基于柔性基板的高稳定霍尔元件及其制备方法有效
申请号: | 201611230253.3 | 申请日: | 2016-12-27 |
公开(公告)号: | CN106784302B | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 邵鹏;丁利苹;孙立蓉;张方辉 | 申请(专利权)人: | 陕西科技大学 |
主分类号: | H01L43/06 | 分类号: | H01L43/06;H01L43/04;H01L43/14 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 张弘 |
地址: | 710021 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种基于柔性基板的高稳定霍尔元件及其制备方法,该柔性的霍尔元件结构为对称的四叶草结构、缺角矩阵结构、十字星形结构等各种不同的结构。所述霍尔元件结构包括柔性基底、以真空蒸镀方式堆栈而成的两层或多层不同温度霍尔系数的薄膜层、电极以及起保护作用的壳体。所述的柔性基底为塑料或超薄铝片。本发明的一种柔性、高稳定的霍尔元件可减小温度对霍尔电压的影响,提升霍尔元件稳定性,并且它的柔性使其具有广泛的应用前景,比如可以嵌入智能纺织物,用这种纺织物制成的服装可以随时监控人体的各种功能;也可将其作为机器人的控制单元传感元件。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 柔性 稳定 霍尔 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于柔性基板的高稳定霍尔元件,其特征在于:包括柔性基板(1)、设置在柔性基板(1)上的半导体导电膜(2)、设置在半导体导电膜(2)端部上的电极(4)以及包覆在半导体导电膜(2)上起保护作用的壳体(3);所述的半导体导电膜(2)是由正温度霍尔系数薄膜与负温度霍尔系数薄膜堆栈组合的两层薄膜层,或者由正温度霍尔系数薄膜与负温度霍尔系数薄膜间隔堆栈组合的多层薄膜层;所述的半导体导电膜(2)为具有四个端部的中心对称图形;柔性材料选自塑料、超薄铝片、聚酰亚胺或聚萘二甲酸乙二醇酯。
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