[发明专利]一种掺杂碲化镉薄膜电池及其制作方法

摘要

本发明公开一种掺杂碲化镉薄膜电池以及制作方法，所述薄膜电池以硼硅玻璃层为衬底，所述衬底上设置有外延叠层，所述外延叠层由下往上依次为前电极ITO层、窗口层、光吸收层、背接触层、背电极层，所述窗口层为硫化铟薄膜层，所述光吸收层为掺铷碲化镉复合薄膜层，所述背接触层为掺铜碲化锌复合薄膜层，所述背电极层为钼薄膜层。本申请技术方案改进了碲化镉电池光吸收层的掺杂，通过掺杂铷有效改善薄膜电导性能；选用高透过率且耐高温的衬底，并解决了背接触的问题；同时通过窗口层材料的选择及热处理的方式，实现了调节碲化镉禁带宽度的方法，提高了电池的开路电压；此外，本申请所述制作方法操作工艺可控，适合掺杂碲化镉薄膜电池的大规模生产。

主权项

一种掺杂碲化镉薄膜电池，其特征在于：所述薄膜电池以硼硅玻璃层为衬底，所述衬底上设置有外延叠层，所述外延叠层由下往上依次为前电极ITO层、窗口层、光吸收层、背接触层、背电极层，所述窗口层为硫化铟薄膜层，所述光吸收层为掺铷碲化镉复合薄膜层，所述背接触层为掺铜碲化锌复合薄膜层，所述背电极层为钼薄膜层。