[发明专利]高频感应蒸发源装置

摘要

本发明提供一种高频感应蒸发源装置，包括用于承载蒸发材料的内坩埚、套设于内坩埚外围的感应线圈、与所述感应线圈连接的射频发生器、及设于内坩埚内的射频诱导加热部件；所述感应线圈用于接收射频发生器发射的交变电流而产生感应磁场；所述射频诱导加热部件包括具有导电性的感应内核体，所述感应内核体在感应线圈的感应磁场中产生感应电流并生成热量，从而对蒸发材料进行加热，与现有的高频感应蒸发源装置相比，能够有效分散内坩埚中蒸发材料的加热区域，从而有效避免蒸发材料局部加热速率不均匀、及靠近内坩埚壁的蒸发材料局部过加热而裂化的问题。

主权项

一种高频感应蒸发源装置，其特征在于，包括用于承载蒸发材料的内坩埚(1)、套设于内坩埚(1)外围的感应线圈(2)、与所述感应线圈(2)连接的射频发生器(3)、及设于内坩埚(1)内的射频诱导加热部件(6)；所述感应线圈(2)用于接收射频发生器(3)发射的交变电流而产生感应磁场；所述射频诱导加热部件(6)包括感应内核体(61)，所述感应内核体(61)具有导电性，在感应线圈(2)的感应磁场中产生感应电流并生成热量，从而对蒸发材料进行加热。