[发明专利]基于硫化钨薄膜结构可调太赫兹波滤波器有效
| 申请号： | 201611236877.6 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106684511B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 章乐;李九生 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | H01P1/20 | 分类号： | H01P1/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于硫化钨薄膜结构可调太赫兹波滤波器。它包括Y形硫化钨薄膜、圆环形硫化钨薄膜、矩形硫化钨薄膜、二氧化硅层、基底层、信号输入端、信号输出端；基底层的上层为二氧化硅层，二氧化硅层上铺有Y形硫化钨薄膜、圆环形硫化钨薄膜、矩形硫化钨薄膜；通过调节施加在圆环形硫化钨薄膜与基底层之间的偏置直流电压，调节圆环形硫化钨薄膜的有效介电常数，实现可调滤波功能。本发明具有结构简单紧凑，尺寸小，响应快，设计原理简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 硫化 薄膜 结构 可调 赫兹 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种基于硫化钨薄膜结构可调太赫兹波滤波器，其特征在于包括信号输入端（1）、信号输出端（2）、Y形硫化钨薄膜（3）、圆形硫化钨薄膜（4）、矩形硫化钨薄膜（5）、二氧化硅层（6）、基底层（7）；圆形硫化钨薄膜（4）上周向等间隔设有32个圆形开槽，Y形硫化钨薄膜（3）在与圆形硫化钨薄膜（4）相切处设均设有3个圆形开槽；基底层（7）的上层为二氧化硅层（6），二氧化硅层（6）的上层铺有Y形硫化钨薄膜（3）、圆形硫化钨薄膜（4）、矩形硫化钨薄膜（5），Y形硫化钨薄膜（3）与圆形硫化钨薄膜（4）相切，圆形硫化钨薄膜（4）的右侧与矩形硫化钨薄膜（5）的左侧相连，Y形硫化钨薄膜（3）的左端设有信号输入端（1），矩形硫化钨薄膜（5）的右端设有信号输出端（2）；太赫兹信号从信号输入端（1）输入，从信号输出端（2）输出；通过调节施加在圆形硫化钨薄膜与基底层之间的偏置直流电压，调节基底层的有效介电常数，实现可调滤波功能。
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