[发明专利]一种实时监测的激光烧蚀纳米结构的实验装置在审
| 申请号： | 201611237414.1 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN107703169A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 徐甄真;张建勋;李增辉;李耀鹏 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学青岛研究院;青岛翰兴知识产权运营管理有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;B23K26/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种实时监测的激光烧蚀纳米结构的实验装置，可以通过电脑控制一次性进行整个试验过程，并且可以在实验过程中监测录像。由激光器、烧蚀光路、烧蚀腔、真空干燥腔、TEM观察腔、靶材控制系统、TEM样品运输系统构成，可以自动控制实验进行，效率高，控制精准，免于样品被污染和氧化，且可以原位进行试验。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实时 监测 激光 纳米 结构 实验 装置 | ||
【主权项】：
一种实时监测的激光烧蚀纳米结构的实验装置，其特征在于包括激光器、烧蚀光路、烧蚀装置、干燥装置、TEM设备构成，烧蚀装置和干燥装置可以进行视频录像。
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