[发明专利]一种快速判断气相沉积产品质量缺陷发生时间的方法

摘要

本发明公开了一种快速判断气相沉积产品质量缺陷发生时间的方法，其包括如下步骤(1)确定样品沉积速率方程；(2)确定一般气相沉积反应的速率方程；(3)积分得到气相沉积厚度方程；(4)求得未知修正比例系数a；(5)解得质量缺陷发生时间。本发明的优点在于通过本发明方法可以准确锁定质量缺陷发生时间，快速确定质量缺陷产品范围，从而缩短工艺质量缺陷原因排查的时间，快速制定措施，及时响应，将质量损失控制到最低；缩短工艺质量缺陷原因排查的时间，大大降低检测产品质量缺陷的成本。

主权项

一种快速判断气相沉积产品质量缺陷发生时间的方法，其特征在于，其包括如下步骤：(1)确定样品沉积速率方程；(2)确定一般气相沉积反应的速率方程；(3)积分得到气相沉积厚度方程；(4)求得未知修正比例系数a；(5)解得质量缺陷发生时间；其中，(1)确定样品沉积速率方程：通过对整个生产周期的沉积速率进行计算，得到生产周期内每小时所述沉积速率的数据后，应根据所述沉积速率绘制出产品的沉积速率曲线，通过数据处理软件对所述沉积速率曲线进行拟合，可以得到检测样品的所述沉积速率随时间变化的样品沉积速率方程，设所述样品沉积速率方程为y＝f(t)；(2)确定一般气相沉积反应的速率方程：同一企业，气相沉积反应设备虽然型号相同，但因所述气相沉积反应设备表面反射率、仪表检测的差异，每台所述气相沉积反应设备在相同的时间内沉积速度有微小的不同，但通过实践检验，所述气相沉积反应设备情况的影响对整个沉积过程的影响均相似，可以引入所述气相沉积反应设备对沉积过程影响的修正比例系数a，得出一般气相沉积反应速率方程y＝f(at)；(3)积分得到气相沉积厚度方程：对所述一般气相沉积反应速率方程y＝f(at)进行积分，即为气相沉积厚度方程对积分式进行求解，可解得包含未知常量a的沉积厚度h随变量时间t变化的气相沉积厚度方程；(4)求得未知修正比例系数a：测量沉积总厚度h总，并将测得的所述沉积总厚度h总和沉积总时间t总代入所述气相沉积厚度方程中求解，解得未知修正比例系数a；(5)解得质量缺陷发生时间：通过对气相沉积产品截面进行质量检测，锁定质量缺陷点的位置，然后测量质量缺陷点处沉积厚度h缺陷，将质量缺陷点处的所述沉积厚度h缺陷及所述修正比例系数a代入所述气相沉积厚度方程，对等式进行求解，即可解得质量缺陷发生时间t缺陷。